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线锯切割工艺

Mech在 1974 年使用金刚石线锯切割工艺，在以后不断发展中该技术逐渐应用于切割硅及其晶体、KDP、红宝石、石英等高硬度脆性材料。随着太阳能光伏材料普遍应用及其它硬脆材料的发展，金刚石线锯丝制作技术和机床制造技术得到长足发展。线锯机床根据锯丝的运动方式不同可分成多种形式切割机床。其中绕线式的绕线长度较长，可同时切割多片晶体，零售石墨截断机床，一般有两个收放轮，其绕线长度可达 30km 以上，较长时间内不换向可实现高速切割。

晶圆线切割

我国晶圆芯片切割加工也应有环线切割技术一席之地

2017 年，我国晶圆芯片加工进入大规模发展的黄金时代，其上游的晶圆切割加工链中仍然为大量的金刚石带锯所占据。晶圆线切割是难以抵挡的趋势，目前晶圆直径正向更大方向发展，批发石墨截断机床，从原來的 8、10、12、15 英寸甚至到了 20 英寸，越大越适合环线锯切割。

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电镀金刚石线锯市场巨大，但其生产难度较高，耐用石墨截断机床 ，技术含量大，没有自主研发的企业做出的线锯往往使用寿命低，颗粒易脱落。

软质铜层经过放线机、校直机、酸洗烘干后经过工作炉使表面镀上一层锌铜合金的硬质层。复合处理后的金属线丝经过拔丝使硬质层部分剥落形成龟甲状裂纹，石墨截断机床，拔丝的同时用孔内侧的加工刃对金属线丝基体旋转切割形成凹槽。金属线丝基体外部除和其它电镀金刚石线一样的软质电镀铜层外又增加裂纹和凹槽使固定的金刚石颗粒更加牢固。

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