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多线切割机

近年来，由于***的重视，将极大规模集成电路制造装备与成套工艺专项课题列入***重大科技专项，另外，国内有关设备制造企业也看到了这个巨大的商机，大力投入人力物力开展艰苦的研制开发，先以模仿为主，逐渐转向自主创新，研制出有自身知识产权的多线切割机。线切割设备的速度调整：切割速度的大小不仅与材料的性质有关，与切割面的大小也有关系，同种材料切割时，被切面较大的切割速度设置就要相对较小一些。

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精密切割机

金刚石线切割机的选择：

当切割样品较小，切割深度较小时通常可选用小型金刚石线切割机。

市场上有专为材料研究人员而设计，用于脆性材料样品的精密切割机。可用于各种不同硬度材料的切割，特别是适用于脆性、易解理的晶体切割；操作简便，加工质量优良；设备小巧，无需占用大面积位置。

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柔性切割

切割速度的选择：

金刚石线锯的切割属于柔性切割，利用金刚石颗粒的硬度比被切割的材料坚硬，切割过程中不锈钢线上镀有的金刚石颗粒层与被切材料进行往复磨削，达到切割的目的。由于是在原有的砂浆线设备基础上进行改造，因此改造设备相比专用设备，其切割效率及品质成本仍存在一定的差距，且随着金刚线细线化技术的不断发展，专用设备的优势将越来越明显。根据材料特性，一般硬度适中（莫氏硬度＜9）的脆性材料切割速度可适当快一些，如硅、石墨、压电陶瓷、玻璃等。这是因为这些材料远没有金刚石坚硬，当金刚石线与其进行磨削时会很容易将材料磨削成颗粒进而切割。当切割金属或混合型材料或者难于切割的陶瓷材料，切割速度要尽可能慢。

环形线切割设备

坚硬材料切割时由于材料的硬度与金刚石颗粒硬度差小，因此切割时金刚石颗粒对被切材料表面的磨削速率减小，因而要适当减慢切割速度；当切割混合型材料时，由于被切割面的材质不均匀，金刚石颗粒对不同材料的磨削速率不同，若切割速度设置过快容易损坏金刚石线，因而应尽量放慢切割速度。脉冲电源提供加工能量，加工过程中应用专用的线切割工作液清除加工中产生的碎屑，切割过程中若工件材料过厚时，工作液较难进入和充满放电间隙，会对加工精度和表面粗糙度造成影响。

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